R · 材料 / 絶縁と平坦化
SOGとは？
SPIN-ON GLASS
細かい配線を重ねるには、下の段差がじゃまになります。SOGは、そのすき間を埋めたり、配線同士を電気的に分けたりする材料です。
チップの表面を、ならす材料。
しくみ
液体を塗って基板を回し、薄く広げてから加熱します。図の水色がSOGの膜。でこぼこをならし、次の層をつくりやすくします。
身近な用途
スマホなどに入る半導体をつくる工場。完成品の中で働くスイッチではなく、製造を助ける材料です。
豆知識
読み方は「エス・オー・ジー」。Spin-on Glassの略。「回して塗る」ことが名前に入っています。